真空燒結(jié)爐的主要特點(diǎn)有哪些呢 　　真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)。是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。 　　同時(shí)，真空燒結(jié)爐亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。設(shè)備分為單工位、雙工位及多工位。下面我們就看看它的主要特點(diǎn)： 　　1、關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件，具有高可靠性； 　　2、真空燒結(jié)爐具有可編程的升、降溫功能； 　　3、具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能； 　　4、真空燒結(jié)爐具有高抗干擾能力； 　　5、真空甩帶爐具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。

　　真空熔煉爐各組成部分介紹 　　真空熔煉爐應(yīng)用于硬質(zhì)合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高溫、高真空條件下進(jìn)行熱壓燒結(jié)處理，也可在充氣保護(hù)情況下熱壓成形燒結(jié)。主要由５個(gè)系統(tǒng)組成，包括： 　　真空系統(tǒng)：真空熔煉爐由油擴(kuò)散泵、羅茨泵、機(jī)械泵配電磁壓差閥、充氣閥、放氣閥、真空蝶閥、真空壓力表(±Pa)波紋管、真空管路和支架等組成。 　　液壓系統(tǒng)：真空熔煉爐采用電動輸入方式。由液壓站配有進(jìn)口比例閥、壓力傳感器、位移顯示器采用光柵尺(測距精度0.02mm)、液壓缸等相關(guān)液壓裝置，壓力調(diào)節(jié)半自動化、可通過手動調(diào)節(jié)。儀表可設(shè)定自動調(diào)節(jié)壓力，并能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)壓、保壓。 　　水冷系統(tǒng)：由各種閥管道相關(guān)裝置組成且設(shè)有斷水聲光報(bào)警自動切斷加熱源或功能。 　　溫控系統(tǒng)：采用可控硅控溫，真空熔煉爐配置有PID功能儀表，數(shù)顯表，具有超溫聲光報(bào)警功能，也可選用PLC觸摸屏自動控制，并保留歷史數(shù)據(jù)，便于分析燒結(jié)過程。 　　充氣系統(tǒng)：真空燒結(jié)爐由各種管道及閥門組成，并配有電磁放氣閥、壓力傳感器，當(dāng)爐內(nèi)壓力高于安全值時(shí)會自動放氣，充氣管路上裝有針閥，可控制充氣量。